無(wú)塵車間凈化室的建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)

1、目的

規(guī)范無(wú)菌室的建設(shè)，為微生物檢驗(yàn)和酵母擴(kuò)培提供無(wú)菌的環(huán)境。

2、適用范圍

本管理規(guī)定適用于工廠無(wú)塵車間的新建和改造。

3、相關(guān)文件及術(shù)語(yǔ)

3.1相關(guān)文件

《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71－90）

《生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范》（GB50346－2004）

《科學(xué)實(shí)驗(yàn)建筑設(shè)計(jì)規(guī)范》（JGJ91-93）

《實(shí)驗(yàn)室生物安全通用要求》（GB19489-2004）

《通風(fēng)與空調(diào)工程施工》（GB50243－2002）

《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50019－2003）

《通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口設(shè)計(jì)規(guī)范》

4、內(nèi)容

無(wú)塵車間總體要求：無(wú)塵車間空氣凈化級(jí)別為10萬(wàn)級(jí)，整體布局應(yīng)合理，使用操作 方便，各功能間分區(qū)明確，能夠滿足實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證認(rèn)可的要求。

4.1無(wú)塵車間設(shè)計(jì)和建筑的特殊要求

4.1.1緩沖間內(nèi)的設(shè)施布置要求：

緩沖間包括一級(jí)緩沖和二級(jí)緩沖，一級(jí)緩沖掛衣裝置能滿足將普通工作服與實(shí)驗(yàn)室工作服分開(kāi)掛放的要求，一個(gè)更鞋柜。二級(jí)緩沖內(nèi)應(yīng)設(shè)一洗手池（建議600*450㎜，配備自動(dòng)感應(yīng)水龍頭），下方不帶柜體，做到不留死角，以便于清洗。

4.1.2其他部分建筑要求：

為了保證無(wú)塵車間的四周維護(hù)、吊頂和地面等平整、防滑、無(wú)縫隙、易清潔、不滲水、耐化學(xué)品和消毒劑的腐蝕，對(duì)建筑的其他部分提出一些特殊要求：

4.1.2.1四周圍護(hù)結(jié)構(gòu)：

圍護(hù)結(jié)構(gòu)的外圍墻體應(yīng)有適應(yīng)的抗震和防火能力。隔斷墻采用厚度50㎜的夾芯彩鋼板，兩側(cè)為0.476㎜厚灰白色阻燃型聚苯乙烯彩鋼板。中間泡沫容重為16㎏/m3,單面15g覆膜。框架柱應(yīng)采用彩鋼板裝飾。彩鋼板陰陽(yáng)角應(yīng)采用鋁合金型材裝飾，其中鋁合金圓弧及底板的規(guī)格為R＝45，非彩鋼板墻面采用乳膠漆：天花板、地板、墻面的交角均為圓弧形且可靠密封。

4.1.2.2吊頂：

采用總厚度50㎜的夾芯彩鋼板，兩側(cè)為0.476㎜厚來(lái)白色阻燃型聚苯乙烯彩鋼板，中間夾芯層泡沫的容重為16㎏/m3，單面15g覆膜。高度統(tǒng)一為2.4±0.2m

4.1.2.3地面：

鋪設(shè)3㎜厚的環(huán)氧自流坪地面（綠色）。所有地面不應(yīng)留地漏，所有出入口處應(yīng)采用防止節(jié)肢動(dòng)物和嚙齒動(dòng)物進(jìn)入的設(shè)計(jì)。

4.1.2.4門(mén)及窗戶：

內(nèi)走廊處一級(jí)緩沖、一級(jí)緩沖與二級(jí)緩沖之間的門(mén)采用鋁合金推拉門(mén)，二級(jí)緩沖與無(wú)菌區(qū)之間的門(mén)均為彩鋼板密閉單開(kāi)門(mén)。無(wú)菌區(qū)與中央臺(tái)之間的彩鋼隔墻上應(yīng)分別設(shè)一扇鋁合金密閉可視窗（1300*1100㎜）、一個(gè)或兩個(gè)全不銹鋼連鎖傳遞窗（600*600*600㎜），傳遞窗雙門(mén)不能同時(shí)處于開(kāi)啟狀態(tài)，傳遞窗內(nèi)應(yīng)設(shè)紫外消毒裝置。

4.2凈化空調(diào)及通風(fēng)要求

4.2.1總體要求：

4.2.1.1應(yīng)安裝獨(dú)立的送排風(fēng)系統(tǒng)以控制無(wú)塵車間氣流方向和壓力梯度。應(yīng)確保在無(wú)菌室時(shí)氣流經(jīng)操作區(qū)流向排風(fēng)口。

4.2.1.2送風(fēng)口和排風(fēng)口的布置應(yīng)該是對(duì)面分布，上送下排，應(yīng)使無(wú)菌室內(nèi)的氣流死角和渦流降至最小程度。

4.2.1.3送排風(fēng)系統(tǒng)可以采用回風(fēng)系統(tǒng)。

4.2.1.4無(wú)塵車間的送風(fēng)應(yīng)經(jīng)初、中、高三級(jí)過(guò)濾。

4.2.1.5無(wú)塵車間的外部排風(fēng)口應(yīng)遠(yuǎn)離送風(fēng)口并設(shè)置在主導(dǎo)風(fēng)的下風(fēng)向，應(yīng)有防雨、防鼠、防蟲(chóng)設(shè)計(jì)，但不影響氣體直接向上空排放。

4.2.1.6高效空氣過(guò)濾器應(yīng)安裝在送風(fēng)管道的末端。

4.2.1.7通風(fēng)系統(tǒng)、高效空氣過(guò)濾器的安裝應(yīng)牢固，符合氣密性要求。高效過(guò)濾器在更換前應(yīng)消毒，或采用可在氣密帶袋中進(jìn)行更換的過(guò)濾器，更換后應(yīng)立即進(jìn)行消毒或焚燒。每臺(tái)高效過(guò)濾器安裝、更換、維護(hù)后都應(yīng)該進(jìn)行無(wú)菌室空氣檢測(cè)以確保其性能。

4.2.1.8在送風(fēng)和排風(fēng)總管處應(yīng)安裝氣密型密閉閥，必要時(shí)可完全關(guān)閉以進(jìn)行室內(nèi)化學(xué)熏蒸消毒。

4.2.1.9在無(wú)塵車間及緩沖間內(nèi)不應(yīng)另外安裝分體空調(diào)、暖氣和電風(fēng)扇等。

4.2.2具體要求：

應(yīng)保證整體通風(fēng)換氣次數(shù)不少于每小時(shí)6次。凈化及通風(fēng)系統(tǒng)包括空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)組（包括送風(fēng)機(jī)組和排風(fēng)機(jī)組），機(jī)房置于地面。其中送風(fēng)機(jī)組又包括：新風(fēng)口、新回風(fēng)混合段、送風(fēng)段、均流段（編修段）、中效段、出風(fēng)段和消聲段。

空調(diào)要有足夠功率使室內(nèi)溫度常年保持在20-24℃，溫度保持在﹤60%.超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)。

4.3電氣及照明要求：

4.3.1總體要求：

4.3.1.1走廊內(nèi)分別設(shè)置動(dòng)力配電箱及照明箱，電器元件應(yīng)采用進(jìn)口產(chǎn)品，配電箱生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)具有3C認(rèn)證資質(zhì)。

4.3.1.2 照明箱及動(dòng)力配電箱的電源均來(lái)自本建筑物的主配電箱。

4.3.1.3所有電纜及導(dǎo)線均穿鋼管沿吊頂內(nèi)及沿墻暗敷。

4.3.1.4照明開(kāi)關(guān)、插座均應(yīng)暗裝，應(yīng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的要求合理布置單相及三相插座。

4.3.1.5應(yīng)同時(shí)考慮空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)動(dòng)力用電。

4.3.2具體要求：

無(wú)塵車間核心區(qū)及緩沖間內(nèi)應(yīng)保證工作照明，避免不必要的反光和強(qiáng)光。一、二級(jí)緩沖和核心區(qū)上方應(yīng)分別配備一盞普通照明日光燈，其中核心區(qū)燈的開(kāi)關(guān)控制安置在核心區(qū)門(mén)旁，一、二級(jí)緩沖的開(kāi)關(guān)放置在靠近一級(jí)緩沖門(mén)的內(nèi)走廊處。

4.4消毒設(shè)備：

4.4.1核心區(qū)吊頂：

核心區(qū)吊頂下方應(yīng)安裝紫外燈殺菌，可采用懸吊式紫外線燈對(duì)室內(nèi)空氣進(jìn)行消毒，安裝的數(shù)量一般為平均1.5W/m3（照射強(qiáng)度為≥70MW/㎝2）。開(kāi)關(guān)控制應(yīng)高在一級(jí)緩沖外.

潔凈車間工程要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計(jì)，而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈室和科學(xué)的維護(hù)管理。為使?jié)崈羰耀@得良好的效果，國(guó)內(nèi)外已有不少文獻(xiàn)從不同的角度作過(guò)闡述。

實(shí)際上，不同專業(yè)之間很難做到理想地配合，而且設(shè)計(jì)者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況，尤其后者。就潔凈室凈化措施而言，許多設(shè)計(jì)者，或者還有施工方，往往對(duì)其必要條件未予足夠重視，造成潔凈效果不理想。本文僅就潔凈室凈化措施中達(dá)到潔凈度要求的必要條件簡(jiǎn)要論述。

潔凈車間工程的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對(duì)加工物的污染。為此，在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮這些原則:盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚(yáng)以減少灰塵對(duì)工件的污染機(jī)會(huì);工作區(qū)的氣流要盡量均勻，且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求，當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動(dòng)時(shí)要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風(fēng)方式。

　　送風(fēng)潔凈度設(shè)計(jì)：

要保證送風(fēng)潔凈度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器的性能和安裝。

凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器一般采用高效過(guò)濾器或亞高效過(guò)濾器。這里每個(gè)潔凈度級(jí)別似乎都有兩類過(guò)濾器可供選擇，選擇高性能的還是低性能的，要視具體情況而定:當(dāng)環(huán)境污染嚴(yán)重，或室內(nèi)排風(fēng)比例很大，或該潔凈室特別重要，需要較大安全系數(shù)，在這些或其中之一情況下，均要選擇高一類過(guò)濾器;反之可選擇較低性能過(guò)濾器。對(duì)0.1μm粒子要求控制的潔凈室，不論控制的粒子濃度高低均要選擇D類過(guò)濾器。以上所述僅從過(guò)濾器角度出發(fā)，實(shí)際上要選擇好過(guò)濾器還要全面考慮潔凈室特性、過(guò)濾器特性和凈化系統(tǒng)特。

要做到第a，則要求施工安裝人員訓(xùn)練有素，既要有安裝凈化系統(tǒng)方面的知識(shí)，又要具備較熟練的安裝技能，否則將難以保證不損壞過(guò)濾器，這方面是有深刻教訓(xùn)的。

其次，安裝嚴(yán)密性問(wèn)題，主要取決于安裝結(jié)構(gòu)型式優(yōu)劣，設(shè)計(jì)手冊(cè),一般推薦:對(duì)于單個(gè)過(guò)濾器采用明裝型式，這樣即便發(fā)生滲漏，也不致漏到室內(nèi);采用成品高效送風(fēng)口，嚴(yán)密性也比較容易得到保證。對(duì)于多個(gè)過(guò)濾器的風(fēng)口,近幾年常采用液槽密封和負(fù)壓密封。液槽密封必須保證液槽接縫嚴(yán)密和整體框架都處于同一水平面上。負(fù)壓密封就是使過(guò)濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負(fù)壓狀態(tài)，與明裝型式一樣即使?jié)B漏也不會(huì)漏到室內(nèi)。實(shí)際上只要做到安裝框架平整，過(guò)濾器端面與安裝框架接觸均勻，任何安裝型式使過(guò)濾器達(dá)到安裝嚴(yán)密性要求應(yīng)該說(shuō)是不難的。

 產(chǎn)品：凈化車間
凈化車間簡(jiǎn)介：凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性
凈化車間的定義
　　凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。 
　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
凈化車間一般結(jié)構(gòu)材料：
    1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造 　　
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。 　　
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。 　　
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔 
凈化車間常規(guī)參數(shù)：
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；
溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動(dòng)±2℃。
濕度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。 　　
噪聲≤65dB（A）；
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%－30%；
照度300LX 
凈化車間基本原理：
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。